ASML否認為中國開發「閹割版」DUV光刻機

荷蘭政府日前將對華輸出光刻機的管制延伸至深紫外光(DUV)光刻機，防範中國廠商以它「踩界」生產7納米製程的晶片。

實際上的唯一受管對象、荷蘭光刻機龍頭ASML最新否認計劃為中國客戶專門開發僅適用於成熟製程的DUV。

要留意的是，券商富瑞之前指出，荷蘭今次最新管制的「驚喜」在於對ASML最舊的浸潤式微影設備(光刻機)NXT1980Di網開一面，這款產品是當年台積電量初初量產7納米製程晶片時所用。

分析指，理論上ASML是有能力把DUV限制在28納米或以上製程，尤其是如果荷蘭再收緊光刻機的出口管制，ASML就更有機會「閹割」DUV，專門送去中國，事關中芯國際(00981)大部分收入都在28納米或以上的成熟製程，華虹半導體(01347)更是全部。