港大開發革命性鑽石製備技術 10秒產出兩英寸金剛石晶圓

2024年12月19日 16:05
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該團隊提出的邊緣暴露剝離法能夠快速生產大尺寸的獨立金剛石薄膜。
香港大學工程學院,聯合南方科技大學及北京大學,成功開發突破性的邊緣暴露剝離法,可快速生產大量大尺寸的超薄、超柔韌的鑽石(金剛石)膜,這些薄膜與現有的半導體製造技術兼容,原則上可以製成各種電子、光子、機械、聲學和量子器件,而對比昂貴、耗時且受尺寸限制的傳統技術,新技術可在10秒內生產出一個兩英寸的金剛石晶圓,提供了前所未有的效率和規模化。
團隊指出,這種方法的關鍵優勢在於可製造出表面超平坦的金剛石膜,對高精度微納製造尤其重要,同時平坦的金剛石膜的巨大柔性能為下一代可穿戴電子和光子設備提供了新的可能性。港大工程學院電機及電子工程學系副教授褚智勤表示,希望能促進這些高質量金剛石膜在不同領域的應用,並將這項尖端技術商業化,從而推出優質的金剛石薄膜產品,為業界樹立新標準,又指有意與學術以及產業夥伴合作,將這項革命性的產品推向市場,加速金剛石時代的到來。
金剛石為全球公認的珍貴寶石,同時也是一種多功能的工程材料,除了堅硬無匹外,在室溫下的熱傳導性能無出其右,同時兼具極高的載流子遷移率,介電擊穿强度,超寬的半導體禁帶寬度以及從紅外到深紫外的光學透明性,其成為製備高頻高功率電子元件、先進光學元件,以及冷卻高功率密度電子元件的理想材料,適用於處理器、半導體激光器和電動汽車的元件等。